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太阳能硅片检测显微镜GP-800
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太阳能硅片检测显微镜GP-800

本仪器配有大移动范围的载物台、落射照明器、长工作距离的平场消色差物镜、大视野目镜,图像清晰、衬度好,同时配有偏光装置,及其高像素的数码摄像头。本仪器配有暗场物镜,使观察硅片时图像更加清晰,是检测太阳能电池硅片的”金字塔” 的微观形貌分布情况,及硅片的缺陷分析的理想仪器。

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    一、用途
        GP-800硅片检测显微镜是适用于对单晶硅太阳能电池检查的显微观察。GP-800硅片检测显微镜具有大移动范围的移动载物台、落射照明器、无限远物镜、大视野目镜。GP-800硅片检测显微镜图像清晰、衬度好,仪器还配有偏光装置,以及高像素的工业相机。GP-800采用暗场物镜,使显微观察硅片试样时图像效果更加清晰,是显微检测太阳能电池硅片的”金字塔” 的微观形貌分布情况,及硅片的缺陷分析的必备显微仪器。

       GP-800硅片检测显微镜可以观察到肉眼难观测的大阳能晶体硅片检测、位错、划痕、崩边等;还可以对硅片的杂质、残留物成分分析。杂质包括: 颗粒、有机杂质、无机杂质、金属离子、硅粉粉尘等,会使磨片后的硅片易于发生变花、发蓝、发黑等现象,使磨片不合格。显微检测几乎是太阳能电池硅片生产过程中必不可少的检测仪器之一。 

     

    二、技术标准

    标准配置

    目镜

    大视野 WF10X(视场数Φ22mm)

     

    无限远长工作距离平场消色差物镜

    PL L5X/0.12    工作距离:26.1 mm

    PL L10X/0.25   工作距离:20.2 mm

    PL L40X/0.60   工作距离:3.98 mm

    PL L60X/0.70   工作距离:3.18 mm

    PL L100X/0.90  工作距离:2.2 mm  (干式)

    目镜筒

    30˚倾斜,瞳距调节范围53~75mm. 

    调焦机构

    粗微动同轴调焦,带锁紧和限位装置,微动格值:2μm.

    转换器

    五孔(内向式滚珠内定位) 

    载物台

    双层机械移动式载物台, 外形尺寸:210mmX140mm,移动范围:63mmX50mm

    落射照明系统

    6V30W卤素灯,亮度可调

    配置黄、蓝、绿滤色片与磨砂玻璃片

    内置视场光栏、孔径光栏、滤色片转换装置、推拉式检偏器与起偏器

    透射照明系统

    阿贝聚光镜NA.1.25可上下升降

    集光镜中内置视场光栏

    配置蓝滤色片与磨砂玻璃片

    6V30W卤素灯、亮度可调

    防霉

    特有防霉系统

     

     

    系统组成

    电脑型(GP-800C)

    1.硅片检测显微镜 2.适配镜 3.摄像器(CCD) 4.计算机(选购) 

    数码型(GP-800D)

    1、硅片检测显微镜 2、适配镜 3、数码相机(选购)

    可选配件

    目镜

    分划目镜10X(Φ22mm)

    物镜

    明场物镜 20X、50X、80X

    CCD接头

    0.5X、1X、0.5X带分划尺

    摄像仪

    USB输出:130/300/500/1000万像素

    数码相机接头

    CANON(EF) NIKON(F)

    分析软件

    二维图像测量分析软件

     

     

    硅片显微镜尺寸

    硅片显微镜分解图

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